平面分光鏡為一個薄窗片加鍍膜組成。一個光束進入，兩個分開的光束沿著不同的光路傳播，而光路取決於分光鏡的厚度和入射角，反射或穿透量能可依需求作鍍膜設計達成需求。

立體分光鏡為兩個或兩各以上之稜鏡加鍍膜膠合組成。其應用原理與平面分光鏡大同小異，唯裝配精度易於達成達系統成需求。